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发布时间:2021-11-12 15:39:57
真空镀膜机真空器件的常用检漏方法
真空镀膜机真空器件的常用检漏方法 依据电真空器材的结构特色及丈量精度要求,常用的有两种检漏办法,即氦罩法和喷吹法(这两种检漏办法具体介绍可见:氦罩法和喷吹法的氦质谱检漏仪检漏常见办法)。检漏时,先用氦罩法进行总漏率的测定,当总漏率超出答应值后再用喷吹法进行漏孔的认位。 氦罩法是被检件与检漏仪衔接抽真空到达检漏状况后,用一个充溢氦气的查验罩,把被检件全体或部分的表面面包围起来,如图4所示。查验罩充氦时先将罩内空气排出再充氦,以确保罩内氦浓度尽可能挨近100百分之,被检件上任何地方有走漏。 检漏仪都会有漏率值改变,显示出漏率值。氦罩时刻也要继续3~5倍检漏仪呼应时刻。A***192T2氦质谱检漏仪反应时刻小于0.5s,因而氦罩时刻30s即可。氦罩法可方便地测定被检件总漏率,不会漏掉任何一处漏点,但不能确认漏孔方位。 喷吹法是将被检件与仪器的真空体系相连,对被检件抽真空后用喷枪向漏孔处吹喷氦气。当有漏孔存在时,氦气就经过漏孔进入质谱仪被检测出,喷吹法弥补了氦罩法不能***的缺点。
真空镀膜设备的处理方法
空镀膜设备厂家分析真空镀膜设备的处理方法 加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。 基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。 对经过清洗处理的清洁表面,不能在大气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至较小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。
浅谈真空镀膜机的定义、原理及应用范围
浅谈真空镀膜机的定义、原理及应用范围 真空镀膜机就是在真空中制备膜层,包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段,但一般真空镀膜机是指用物理的方法沉积薄膜。 真空镀膜机有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。 真空镀膜机技术初现于20世纪30年代,四五十年始出现工业应用,工业化大规模生产开始于20世纪80年代,在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料),属于物***相沉积工艺。因为镀层常为金属薄膜,故也称真空金属化。广义的真空镀膜还包括在金属或非金属材料表面真空蒸镀聚合物等非金属功能性薄膜。在所有被镀材料中,以塑料为常见,其次,为纸张镀膜。相对于金属、陶瓷、木材等材料,塑料具有来源充足、性能易于调控、加工方便等优势,因此种类繁多的塑料或其他高分子材料作为工程装饰性结构材料,大量应用于汽车、家电、日用包装、工艺装饰等工业领域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外观不够华丽、耐磨性低等缺陷,如在塑料表面蒸镀一层极薄的金属薄膜,即可赋予塑料程亮的金属外观,合适的金属源还可大大增加材料表面耐磨性能,大大拓宽了塑料的装饰性和应用范围。
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