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天津磁控溅射镀膜设备来电咨询「至成真空科技」

发布时间:2021-11-20 11:17:56        










真空镀膜机冷却配套冷水机的作用


真空镀膜机冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜机器的温度,使其工作达到、率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下,自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是极不稳定的。因此,可以说冷水机是真空镀膜设备中非常重要的配套冷却设备,因为冷水机直接关系到真空镀膜机工作效果的好坏。

真空镀膜机为什么要配套冷水机?

这个要从真空镀膜工作原理查看:膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽,结合力也很差。

冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统,水温在5℃~30℃范围内调节控制,可以达到、率控制温度的目的。其冷却原理是:制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜机进行降温,冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,达到冷却的作用。



什么是真空镀膜设备的虚漏及漏孔?


一、虚漏:

虚漏是由于设计或制造加工工艺不当,在真空镀膜设备内形成贮存气源的洞穴,这些气体在真空环境下慢慢释放出来,形同漏气,简称虚漏。

例如,真空镀膜设备内的紧固螺钉没有出气孔,焊缝交叉设计,焊接不完善留有孔穴等都会造成虚漏现象。

二、漏孔:

漏孔是真空镀膜设备内的电真空器件中直径微米数量级的小漏孔,空气中的尘埃或液体都很容易造成漏孔的堵塞,这些就算你当时修理好了也是暂时性的,检漏时好像不漏,但经过抽气之后,又会出现漏气。

所以为了检查,一定要仔细处理好检漏部位,尽量不用手去摸被检测区域,避免尘埃或油脂堵塞漏孔。



真空镀膜机的全新发展真空泵与隔膜泵机械密封的安装与使用


真空镀膜机的发展相当迅速,随着生产率的提高,生产费用大大降低,已经为真空镀膜产品的普遍使用铺平了道路。

以卷绕式真空镀膜机为例,刚开发时可镀的薄膜基材宽度是150mm,目前已达2253mm。基材卷筒的大卷径是1000mm,大卷绕速度750m/min。自动装卸的半连续卷绕式真空镀膜机镀膜时间占整个周期的75%,辅助操作时间只占25%。随着计测技术、控制技术的进步和电子计算机的应用,卷绕式真空镀膜机正向着高度自动化和高度可靠性的方向发展。

真空镀膜机真空镀膜机能够沉积的镀膜层厚度范围为0.01-0.2,可以在这个范围内选择,有的还可以镀多层膜,满足多种需要。日本提出沉积两种不同镀膜材料的卷绕式蒸镀装置。该装置的真空室分为上室,左下室和右下室。蒸镀时,两组蒸发源蒸发的镀膜材料分别沉积在塑料薄膜上,在塑料薄膜没有蒸镀的一侧,装上辉光放电发生器。发生器产生的辉光放电气体能防止塑料薄膜起皱。使用这套装置可以在极薄的塑料薄膜上镀上无折皱的多层膜,用于制磁带和薄膜太阳能电池等。



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