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发布时间:2021-11-22 05:00:18
真空镀膜设备离子镀的类型及特点是怎样的?
真空镀膜机离子镀技术市场使用占比率非常高,镀餐具,镀家居,镀饰品等都离不开离子镀膜技术,离子镀膜技术不仅仅在国内受追捧,国外也是一样受喜爱。那么,真空镀膜设备离子镀的类型及特点是怎样的?下面至成小编为大家详细介绍一下:
离子镀是结合真空蒸镀和溅射镀两种技术而发展起来的沉积技术。在真空条件下,采用适当的方式使镀膜材料蒸发,利用气体放电使工作气体和被蒸发物质部分电离,在气体离子和被蒸发物质离子的轰击下,蒸发物质或其反应产物在基体上沉积成膜。离子镀的基本过程包括镀膜材料的蒸发、离子化、离子加速、离子轰击工件表面成膜。根据镀膜材料不同的蒸发方式和气体的离化方式,构成了不同类型的离子镀,下表是几种主要的离子镀。离子镀具有镀层与基体附着性能好、绕射性能好、可镀材质广、沉积速率快等优点。
PVD真空镀膜机镀膜工艺原理
PVD即物***相沉积,分为:真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。我们通常所说的PVD镀膜,指的就是真空离子镀膜和真空溅射镀;通常说的NCVM镀膜,就是指真空蒸发镀膜。PVD真空镀膜机镀膜工艺原理分为以下三种情况:
(1)真空蒸镀基本原理:在真空条件下,使金属、金属合金等蒸发,然后沉积在基体表面上,蒸发的方法常用电阻加热,电子束轰击镀料,使蒸发成气相,然后沉积在基体表面,真空蒸镀是PVD法中使用早的技术。
(2)溅射镀膜基本原理:充Ar(Ar)气的真空条件下,使Ar气进行辉光放电,这时Ar(Ar)原子电离成Ar离子(Ar),Ar离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。溅射镀膜中的入射离子,一般采用辉光放电获得,在l0-2Pa~10Pa范围,所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中,易和真空室中的气体分子发生碰撞,使运动方向随机,沉积的膜易于均匀。
(3)离子镀基本原理:在真空条件下,采用某种等离子体电离技术,使镀料原子部分电离成离子,同时产生许多高能量的中性原子,在被镀基体上加负偏压。这样在深度负偏压的作用下,离子沉积于基体表面形成薄膜。
真空PVD镀膜涂层工艺有那些步骤呢?
今天至成真空小编为大家详细介绍一下真空PVD镀膜涂层工艺操作步骤,它的先后顺序是怎样的,有那些细节和原理是必须要了解的。
首先在处理工艺前,需要褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。镀膜工艺,抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。后处理工艺:首先清洗环节,确保真空镀膜机镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量;然后再抽真空将真空室内的残余气体抽走。接下来加热烘烤,炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放。压升率测试,测试炉体的漏气率和放气率。轰击清洗,去除工件表面的杂志,露出新鲜表面。镀膜,沉积膜层。冷却,避免工件氧化变色。为什么要进行冷却,镀膜工艺完成后,真空室内温度高达500℃,如果不冷却就放气,没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。
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