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常用的光学镀膜有哪些？

干涉滤光片

是种类多、结构复杂的一类光学薄膜。它的主要功能是分割光谱带。常见的干涉滤光片是截止滤光片和带通滤光片。截止滤光片可以把所考虑的光谱区分成两部分，一部分不允许光通过（称为截止区），另一部分要求光充分通过（称为带通区）。按照通带在光谱区的位置又可分为长波通和短波通二种，它们简单的结构分别为，这里H、L分别表示厚的高、低折射率层，m为周期数。具有以上结构的膜系称为对称周期膜系。如果所考虑的光谱区很宽或通带透过率的波纹要求很高，膜系结构会更加复杂。

带通滤光片只允许光谱带中的一段通过，而其他部分全部被滤掉,按照它们结构的不同可分为法布里-珀罗型滤光片、多腔滤光片和诱增透滤光片。

光学薄膜的结构与法－珀标准具相同，因为由它获得的透过光谱带都比较窄，所以又叫窄带干涉滤光片。这种滤光片的透过率对薄膜的损耗非常敏感，所以制备透过率很高、半宽度又很窄的滤光片是很困难的。多腔滤光片又叫矩形滤光片，它可以做窄带带通滤光片，又可以做宽带带通滤光片，制备波区较宽，透过率高，波纹小的多腔滤光片同样是困难的。

诱增透滤光片是在金属膜两边匹配以适当的电介质膜系，以增加势透过率，减少反射，使通带透过率增加的一类滤光片。虽然它的通带性能不如全电介质法－珀滤光片,却有着很宽的截止特性,所以还是有很大的应用价值。特别在紫外区，一般电介质材料吸收都比较大的情况下,它的优越性就更明显了。图3的a、b、c分别给出法布里-珀罗型滤光片、多腔滤光片和诱增透滤光片的典型曲线。

真空镀膜技术在光学仪器中的应用

人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪、以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等。它们都离不开镀膜技术，镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。

一般光学仪器中的光学系统都由多个透镜组成，光线要经玻璃界面，会有相当多的光线被反射掉，透过的光线很少，影响光学仪器的光学效果。为了减少反射损耗，增大光线的透过率，往往在玻璃表面沉积增透膜来提高光的透过率。反射膜与增透膜相反，反射膜要求把入射光大部分或几乎全部反射回去。例如：光学仪器、激光器、波导管、汽车和灯具的反射镜都需要镀反射膜。反射膜有金属膜和介质膜两种。镀制金属高反射膜常用的材料有铝、银、金、铜等。为了提高金属膜表面的抗擦损能力，往往在表面镀一层保护膜，如SiO/SiO2/Al2O3。

在激光器和多光束干涉仪反射镜上，一般沉积低吸收、高反射的全介质反射膜。其结构是在基片上交替沉积光学厚度为λ/4的高、低折射率材料的膜层。

AR+AF溅射镀膜机有哪些特点

专门为层数不多但要求产能大、的光学薄膜产品镀膜生产而设计，适用于玻璃和塑胶光学镜片、眼镜片AF、AS膜的镀膜生产，也适用于手机视窗(玻璃或塑胶)、塑胶片材彩色光学膜的制备。旋转阴极装置与行内普通平面靶装置相比靶材使用周期与利用效率显著提高。可客制化的基板工件架结构定制，给客户产品摆放达到利用空间。率真空泵组配比与精密的腔体结构使我司抽气效率达到行业水平。至成RF离子源具有工作范围广能量均衡，高离化率，超稳定工作效率，低耗能等特点。可生产高折射率氮化薄膜，提高薄膜硬度性能。低温成膜，可应对各种用途。可依靠负载锁定装置保持稳定的成膜品质。利用自动溅射控制装置，使溅射工艺实现了自动化。可选“校正板外部调节机构”。

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工具经冲压件真空镀膜设备硬质涂层处理后，其性能更稳定，可出稳定、高质量的工件，可防止功能性表面、刀刃和拉伸半径受到磨损，显著延长工具的使用寿命；使用寿命的延长和行程率的提高在提高生产率的同时降低了单位成本；底层坚硬而顶层摩擦低的涂层系统，降低了粘附磨损，从而可能减少对环境产生不良影响的润滑剂的用量，甚至完全不使用润滑剂；因为涂层减少了工具负荷并因而降低了破损风险，生产可靠性得以提高，对于金属薄板成型工具，涂层可用作磨损指示器，磨损和冷焊的减少改进了工件的表面质量，也使工件能够满足对其外观的更高要求，光洁度也与随后的电镀工艺更加相匹配。

真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受高温，配置多只园形电弧蒸发源，或配多个矩形平面电弧蒸发源，也可配多只空心阴极枪，同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源，保证足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动，提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。